furnace는 가마솥이라는 뜻
퍼니스 장비에서 가장 중요한 3가지 요소는 가스, 온도, 압력이다.
퍼니스 장비는 쉽게 말해서 웨이퍼 표면에 얇은 막을 씌우는 장비이다. 웨이퍼 표면에 박막을 증착시킨다. 이때 막의 종류는 크게 두 가지가 있는데, 하나는 금속막이고 다른 하나는 산화막이다.
금속막의 경우 챔버에 가스를 채우고, 해당 가스 분자에서 필요한 것만 분리하여 막을 씌운다. 분자를 원자 단위로 쪼개려면 힘이 필요하다. 보통 분리를 위해 열을 이용하기 때문에 1200도 공정, 800도 공정 등의 단어를 듣을 수 있다. 이를 *열분해라고 한다.
열분해는 물질을 높은 온도로 가열하여 일어나는 화학물질의 분해 반응을 가리킨다. 일반적으로 430°C 이상의 온도에서 운영된다.
하지만, 온도만 올린다고 모든 분자가 다 분리되지는 않는다. 이때는 압력을 사용하나? 공부해오겠습니다 알려주시면 감사합니다 당신이 옳습니다
참고자료
- 위키백과, "열분해", https://ko.wikipedia.org/wiki/열분해, 2023.11.06
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